6英寸测验级碳化硅晶体厂家 激光冷切开设备

时间: 2024-03-27 15:18:10 |   作者: 案例展示

  收购6英寸N型碳化硅晶体测验设备,可选择姑苏恒迈瑞公司,专业供给4英寸至6英寸碳化硅晶棒,碳化硅切开片及碳化硅衬底晶片,单根碳化硅晶棒厚度约为20mm。D级测验级碳化硅晶体可用于激光冷切开设备,多线切开设备等测验用。

  收购6英寸N型碳化硅晶体测验设备,可选择姑苏恒迈瑞公司,专业供给4英寸至6英寸碳化硅晶棒,碳化硅切开片及碳化硅衬底晶片,单根碳化硅晶棒厚度约为20mm。D级测验级碳化硅晶体可用于激光冷切开设备,多线切开设备等测验用。

  作为第三代半导体资料,碳化硅相较于硅资料,具有带宽度、高击穿电场、高饱满电子漂移速度、高热导率、高抗辐射等特色,合适制作高温、高压、高频、大功率的器材。

  现在碳化硅干流的切开方法分为砂浆线切开、金刚线切开、激光切开(水导激光、激光剥离、激光冷切开)。

  关于国内厂商而言,砂浆线切开技能已应用于绝大部分碳化硅衬底厂商,金刚线切开技能也成为了干流迭代计划。虽然金刚线相较于砂浆线切开优势明显,但仍存在一些问题:

  1、加工功率较低。碳化硅晶锭的长度较短,运用多线切开技能需求先将多个晶锭进行拼接,降低了加工功率。

  2、资料损耗率高。工艺流程中,切开线会将部分碳化硅资料削磨成碎屑由此发生锯口丢失,而且高速运动会在资料标明发生粗糙切痕,导致资料损耗率高达50%。

  3、设备及耗材寿数短。在切开时,金刚线磨损严峻,切开线的惯例运用的寿数以及晶片的翘曲度都受到影响。

  4、耗材本钱高。金刚线的单位本钱高于砂浆线,频频替换易磨损的金刚线会添加加工本钱

  主营产品:硅基氮化镓外延片,碳化硅基GaN外延片,碳化硅晶棒,碳化硅SiC切开片,碳化硅衬底晶片,碳化硅同质外延片,氮化镓衬底片



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