我国榜首台!高端晶圆激光切开设备核心部件100%国产化

时间: 2023-08-07 17:01:02 |   作者: 案例展示

  快科技7月12日音讯,据武汉东湖国家自主立异示范区官方账号“我国光谷”,华工科技近期制作出了我国首台核心部件100%国产化的高端晶圆激光切开设备,在半导体激光设备范畴霸占多项我国榜首。

  据华工科技激光半导体产品总监黄伟介绍,半导体晶圆归于硬脆资料,一个12英寸(300毫米)的晶圆上有数千颗乃至数万颗芯片,而晶圆切开和芯片别离,不管采纳机械或激光方法,都会因物质触摸和高速运动而产生热影响和崩边,然后影响芯片功能,因而,控制热影响的分散规模和崩边尺度是要害。

  据悉,晶圆机械切开的热影响和崩边宽度约20微米,传统激光在10微米左右。

  此外,切开线宽的削减,意味着晶圆能做到更高的集成度,然后使得半导体制作更经济、更有功率。



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